Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Вантажиться...
Дата
2017
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Вісник Національного технічного університету «Харківський політехнічний інститут». Серія: Електроенергетика та перетворювальна техніка. – Харків : НТУ «ХПІ», 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77
Анотація
У роботі розглядаються питання теорії появи дефектів тонких електропровідних пленок. Виконано аналіз впливу головних електричних параметрів на наявність дефектів структури. Показані імовірні види дефектів пленок і визначені способи їх виявлення.
The paper deals with the theory of the appearance of defects in thin electroconductive films. An analysis of the influence of the main electrical parameters of films on the presence of defects in the structure of films was performed. Other possible types of film defects are shown and methods for their detection are determined.
В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления.
The paper deals with the theory of the appearance of defects in thin electroconductive films. An analysis of the influence of the main electrical parameters of films on the presence of defects in the structure of films was performed. Other possible types of film defects are shown and methods for their detection are determined.
В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления.
Опис
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В.А. Світличний, Ю.Е. Хорошайло, О.В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник Національного технічного університету «Харківський політехнічний інститут». Серія: Електроенергетика та перетворювальна техніка. – Харків : НТУ «ХПІ», 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.
Ключові слова
тонка електропровідна плівка, thin electroconductive film, тонкая электропроводящая пленка, товщина і форма плівки, пористість структур, поверхнева щільність острівців, film thickness and shape, porosity of structures, surface density of islands, толщина и форма пленки, пористость структур, поверхностная плотность островков, Техніка. Технічні науки. Machinery. Engineering. Техника. Технические науки, Наукові публікації. Scientific publications. Научные публикации