Світличний, В. А.Svitlychnyi, V. A.Orcid https://orcid.org/0000-0003-3381-3350ResearcherID J-6856-2016Светличный, В. А.Хорошайло, Ю. Є.Khoroshailo, Y. Y.Хорошайло, Ю. Е.Мулявка, O. В.Muliavka, O. V.Сова, А. В.Sova, A. V.2018-12-282018-12-282017http://dspace.univd.edu.ua/xmlui/handle/123456789/4200Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В.А. Світличний, Ю.Е. Хорошайло, О.В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник Національного технічного університету «Харківський політехнічний інститут». Серія: Електроенергетика та перетворювальна техніка. – Харків : НТУ «ХПІ», 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.У роботі розглядаються питання теорії появи дефектів тонких електропровідних пленок. Виконано аналіз впливу головних електричних параметрів на наявність дефектів структури. Показані імовірні види дефектів пленок і визначені способи їх виявлення.The paper deals with the theory of the appearance of defects in thin electroconductive films. An analysis of the influence of the main electrical parameters of films on the presence of defects in the structure of films was performed. Other possible types of film defects are shown and methods for their detection are determined.В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления.otherтонка електропровідна плівкаthin electroconductive filmтонкая электропроводящая пленкатовщина і форма плівкипористість структурповерхнева щільність острівцівfilm thickness and shapeporosity of structuressurface density of islandsтолщина и форма пленкипористость структурповерхностная плотность островковТехніка. Технічні науки. Machinery. Engineering. Техника. Технические наукиНаукові публікації. Scientific publications. Научные публикацииArticle