Системи автоматичного регулювання температури при вирощуванні монокристалів напівпровідників

Abstract

Зазначено, що враховуючи необхідність безперервного регулювання температури при вирощуванні монокристалів напівпровідників з високою точністю на протязі тривалого часу, варіантзастосування системи автоматичного регулювання з інтегральним регулятором можна вважати більш надійним.

Отмечено, что учитывая необходимость непрерывной регулировки температуры при выращивании монокристаллов полупроводников с высокой точностью в течение длительного времени, вариант применения системы автоматического регулирования с интегральным регулятором можно считать более надежным.

It is noted that given the need for continuous temperature control when growing semiconductor single crystals with high accuracy for a long time, the option of using an automatic control system with an integrated controller can be considered more reliable.