Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСвітличний, В. А.
dc.contributor.authorSvitlychnyi, V. A.
dc.contributor.authorOrcid https://orcid.org/0000-0003-3381-3350
dc.contributor.authorResearcherID J-6856-2016
dc.contributor.authorСветличный, В. А.
dc.contributor.authorХорошайло, Ю. Є.
dc.contributor.authorKhoroshailo, Y. Y.
dc.contributor.authorХорошайло, Ю. Е.
dc.contributor.authorМулявка, O. В.
dc.contributor.authorMuliavka, O. V.
dc.contributor.authorСова, А. В.
dc.contributor.authorSova, A. V.
dc.date.accessioned2018-12-28T12:06:08Z
dc.date.available2018-12-28T12:06:08Z
dc.date.issued2017
dc.descriptionОсобенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В.А. Світличний, Ю.Е. Хорошайло, О.В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник Національного технічного університету «Харківський політехнічний інститут». Серія: Електроенергетика та перетворювальна техніка. – Харків : НТУ «ХПІ», 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.uk_UA
dc.description.abstractУ роботі розглядаються питання теорії появи дефектів тонких електропровідних пленок. Виконано аналіз впливу головних електричних параметрів на наявність дефектів структури. Показані імовірні види дефектів пленок і визначені способи їх виявлення.uk_UA
dc.description.abstractThe paper deals with the theory of the appearance of defects in thin electroconductive films. An analysis of the influence of the main electrical parameters of films on the presence of defects in the structure of films was performed. Other possible types of film defects are shown and methods for their detection are determined.en
dc.description.abstractВ работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления.ru
dc.identifier.urihttp://dspace.univd.edu.ua/xmlui/handle/123456789/4200
dc.language.isootheruk_UA
dc.publisherВісник Національного технічного університету «Харківський політехнічний інститут». Серія: Електроенергетика та перетворювальна техніка. – Харків : НТУ «ХПІ», 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77uk_UA
dc.subjectтонка електропровідна плівкаuk_UA
dc.subjectthin electroconductive filmuk_UA
dc.subjectтонкая электропроводящая пленкаuk_UA
dc.subjectтовщина і форма плівки
dc.subjectпористість структур
dc.subjectповерхнева щільність острівців
dc.subjectfilm thickness and shape
dc.subjectporosity of structures
dc.subjectsurface density of islands
dc.subjectтолщина и форма пленки
dc.subjectпористость структур
dc.subjectповерхностная плотность островков
dc.subjectТехніка. Технічні науки. Machinery. Engineering. Техника. Технические науки
dc.subjectНаукові публікації. Scientific publications. Научные публикации
dc.titleОсобенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленокuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Osobennosty vyiavlenyia defektov tonkykh elektroprovodiashchykh plenok_Svitlychnyi_Khoroshailo_Muliavka_Sova_2017.pdf
Розмір:
689.68 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Stattia
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Наукові публікації (Scientific publications). УДК 62